该晶圆加工产出厂地处豫东地,一般产出85英寸半导体技术晶圆,每日污废水 确定产量上涨约800吨。仍然产出的过程 中安全使用很大氢佛酸确定晶圆蚀刻,以至于污废水 中氟化物溶度自由高达200-300mg/L,远超我国确定污染物标准规定(10mg/L左右)。
化工废水有效成分及源
废污水最主要来自五湖四海二个过程:
晶圆蚀刻步骤
:含高渗透压氟化物(HF)、硝酸钠及少量出高价属
物理化学自动化设备抛光剂(CMP)废污水
:含納米级硅粉末、有机酸络合剂
环保设备除污废水处理
:含异丙醇、高锰酸盐指数等设计物
净化处理生产工艺方法
按照"化学上的析出+混泥土析出+厚度净化"三阶段加工处理系统软件:
1阶段办理
:添加氯化钙和氢腐蚀钙,进行氟化钙积累,氟化物避开率达85%
二次元办理
:加入PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),快速清理胶体溶液态空气固体废弃物
四级处理
:确认多媒质过滤水器和活性酶类炭活性炭吸附,出水出水氟化物有机废气浓度增强在8mg/L一下
重要产品涉及到:pH自动化改善程序、斜管奠定池、板框压滤机厂家(活性污泥缺水)。
不可能感觉
业务启动2年监测方案动态数据屏幕上显示:
氟化物人均浓度值:7.2mg/L(达不到国家的标)
COD彻底清除率:92%
生活污水水分含量率:≤65%
年收购氟化钙副物料约150吨,完成能源化通过