该厂为8寸大晶圆生产加工线配合的超注射用水装置，每顿饭产生了含硅工业企业废水150吨。工业企业废清水中虽无血本属，但硅水平高易积垢，且内阻率需起到18MΩ·cm才可工业企业废水加工处理。原本加工处理工学艺始终无法 充分满足新出台的《微电子工业企业水破坏物尾气排放标准细则细则》（GB39731-2020）尤其是尾气排放标准细则允许值。 废污水的成分基本特征 一般水空气污染物 ：固体硅（200-300mg/L）、颗粒物硅（粒度分布0.1-1μm） 特殊化请求 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水硬度性质 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅无机化合物特征较为复杂 治理工序过程 全新所采用"梯级膜提取+电去化合物"团体工艺设计： 微滤预加工处理 ：1μm瓷砖膜手机拦截大颗粒物硅，通量维系80LMH 铝离子对换聚酯树脂 ：D201大孔光敏树脂取舍性吸附剂硅酸原子 2级RO系统性 ：第2段回收处理率60%，第2段选取高脱硼膜组件 EDI电去铁离子 ：直流电压硬度2A/m²，继续清除残留物化合物 紫外线杀菌消毒 ：254nmUV紫外线的线分子量40mJ/cm² 枝术优点 联合开发专业级阻硅剂（有机肥料胺类塑料物），延迟膜弄脏频次3倍 EDI摸块创新性流道制定，硅出掉率完善至99.8% 上线硅介绍仪（测定范围图0.1-500μg/L）保证 靶向把控 运转转化效果 经三、方监测： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L降到0.3μg/L 程序回收分类处理率从原40%加强至68% 膜拆换周期时间增长至5年，年加载成本低影响35%