伤害某半导体技术基带芯片制作厂,晶圆制作加工过程中中呈现含硅、氟的比较特殊电镀废水补救措施,开发补救占比1200吨/日。电镀废水补救措施化学成分较为复杂,内含纳米级级硅粉末及氢佛酸,傳統补救措施难及格。
废液的成分及来自
其主要感染物
:悬浊液硅(100-500nm孔径)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
来源于繁琐流程
:晶圆刻蚀废渣(45%)、CMP生物学机制打蜡 废渣(40%)、机消毒水(15%)
正确处理加工过程流量
创新性利用"化学工业滤渣+特种车辆膜溶合"新技术行车路线:
钙盐放置
:污泥脱水氯化钙彻底清除氟化合物(出现CaF2沉定)
斜板沉淀池反响
:组合二沉池剂保证 胶体溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm内径膜挪作他用微细顆粒
超滤性和软件
:脱盐率>98%,收购率75%
多效蒸发成果
:浓水段构建氟化物零尾气排放
进而结果
氟化物渗透压:<8mg/L(降至部委第一原则10mg/L)
硅含碳量:<5mg/L
水教育资源回收利用率:70%用到降温塔保湿补水
危险废弃物减轻:多效蒸发残余物量较传统文化技艺才能减少60%