半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备高级测封一体化涉重废液——MVR直接循环系统零排品牌
大型项目蓝本
半导体行业行业高档首测建设好项目,投资规模150立米米/天,是正式启动半导体行业行业首测匹配涉重生产废渣零排建设好项目。首测重要环节的镀镍、镀铜、引线的框架擦洗会引发含镍含铜生产废渣,物流园区的标准"无尾水外排",产水完全造纸废水处理于产线。
生活饮用水特殊性与问题
废水解决以含镍作为主(渗透压10–100毫克/升),伴少量出铜、锌,pH下降大(2–12),和光刻胶残余的少量出有机质物。首测厂训练场地紧,的标准解决公用设施征占小;零排寓意着浓水不可土石方太满,须得本市化掉成果开环。
外理工学艺途径
整体风格走"分质征集 → 预解决除杂 → 生物沉垫除镍 → 过滤水 → UF+有级RO → MVR直接不断循环化掉 → 冷凝水水使用":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢钝化钠生成二维码Ni(OH)₂奠定,再加上加硫橡胶钠深度.收集稳定度镍(加硫橡胶镍Ksp比氢钝化镍更小,能让镍压到0.1毫克/升下列);
发展溢水经多有机溶剂筛选+保卫筛选后进UF,再进3级RO,产水会直接回产线家电清洗;
RO浓水(含盐+稳定度天价属)进MVR强行无限配置多效冷却器,强行无限配置能扛高含盐积垢,多效冷却器原有同屏在线的洗涤,不会堵;
MVR空调汽化器水回来使用养鱼池,汽化残液委外焚化或为垃圾应对,整一个厂内无等离子态外排。
首要专用设备长处表明
MVR被迫嵌套循环法相对于平凡降膜挥发,嵌套循环法气速高、热传递面不容易结镍盐/碳酸盐垢,適合首测类似这些"水流量不太大但水源杂"的景象;一身化撬装设汁占地面积比过去的挥发塘+多效挥发细则小60%上述;恶臭侧设备配套生物工程滤池,把调控池和淤泥间的恶臭获得后化学降解成CO₂和水,尽量避免首测厂紧临办公场地区的刺激性气味投诉信。
除理目的与利润
冒水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远低于《化学镀污染源物污染物细则》表三;整个150立方米/天产水造纸废水处理于测封产线洗涤,用作等量新鲜感水;危险废物(蒸发掉残液+废水)量比传统意义"滤渣+污染物"传统模式减约70%。对富士康侧,测封创业项目环保健康监管卡点挨打通;